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VarioBasic 係列主動隔振光學平台

產品概述

歐庫睿因主動式隔振技術，高精度設備的*美展現！

自從高分辨率測量和製造技術達到納米尺度以來，振動就一直是一個重要問題。有效消除振動幹擾是獲得精確和可重複測量結果的關鍵。解決方法是將儀器與振動源隔離開來。典型的振動來源可能是：

· 建築物和地麵的振動(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz)

· 聲學振動(>20 Hz)

· 機動設備和機器(10-500 Hz)

主動隔振的基本原理是通過產生反作用力對幹擾振動進行